每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问:柴总您好日前盛美上海上市，请问公司的半导体设备与盛美上海半导体设备相比，技术方面有哪些优势，谢谢

至纯科技11月22日在投资者互动平台表示，公司致力打造高端湿法设备制造开发平台公司产品腔体，设备平台设计与工艺技术都和国际湿法设备厂商路线一致，采用先进二流体产生的纳米级水颗粒技术，能高效去除微粒子的同时，还可以避免兆声波的高成本以及对晶圆基底的损伤公司的湿法设备历经IP自主，供应链自主研发，在国内湿法设备制造基地制造，正有序开展供应链的本地化

10月18日，至纯科技发布公告表示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司控股子公司至微半导体有限公司拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。其中大基金二期和混改基金成为至微科技股东！

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