，据媒体报道，已顺利量产 7nm、5nm 芯片制程工艺的台积电和三星电子，已采购了大量的极紫外光刻机，用于为相关的厂商代工芯片。

而除了台积电、三星电子等芯片代工商，存储芯片制造商也已采购或计划采购极紫外光刻机。主要应用于集成电路制造，超精密制造，光学，医疗等行业。年初就曾有外媒报道，SK 海力士新建成的 M16 工厂，就已安装了极紫外光刻机。华卓精科的主营业务是超精密测控设备。

媒体的报道显示，美光科技也已计划采购极紫外光刻机。美光科技负责全球运营的执行副总裁，在当地时间周四的一场在线会议上透露，计划 2024 年开始安装极紫外光刻机。其产品包括精密运动系统，掩模对准器双级模块，静电卡盘，晶圆级键合设备，激光退火设备等。。

随着越来越多的厂商采购极紫外光刻机，加之台积电、三星电子、英特尔对极紫外光刻机需求的增大，极紫外光刻机厂商也将从中获利，阿斯麦是目前全球唯一能制造极紫外光刻机的厂商。

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